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碳化硅脫脂燒結(jié)一體爐
產(chǎn)品介紹
碳化硅脫脂燒結(jié)一體爐主要用于粉末成型碳化硅制品的脫脂、燒結(jié)處理。該設(shè)備采用先進(jìn)的自動化控制及人機(jī)交互系統(tǒng),對溫度、壓力、流量等各個變量精準(zhǔn)控制,使產(chǎn)品質(zhì)量有明顯改善。
產(chǎn)品參數(shù)
裝料空間(D*H)  
φ400*1200
 
φ500*1800
最高工作溫度 2350℃
極限真空 1Pa
真空泄漏率 ≤5×10-3mbarl/s
真空泵組 旋片泵+羅茨泵
脫蠟率 ≥98%
抽氣速率 ≤20min
升溫速率(滿載、<1000℃) ≤10℃/min
升溫速率(滿載、≥1000℃) ≤6℃/min
低溫段溫度均勻性 ≤±5℃
高溫段溫度均勻性 ≤±4℃
測溫方式 Wre5-26雙芯熱電偶+紅外測溫儀
加熱區(qū)數(shù) 三區(qū)/四區(qū)
工藝氣體種類 Ar、N2
電源 三相五線制 AC380V±10%/50HZ
  以上參可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整,不作為驗收依據(jù),具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。


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